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气冷式罗茨真空泵工作原理

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气冷式罗茨真空泵工作原理

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  • 发布时间:2021-03-11 15:47:04
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  ZJQ系列气冷式罗茨真空泵的结构如图所示。在泵腔内,有二个转子(两叶或多叶)安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。与ZJ系列普通罗茨真空泵相比,ZJQ系列气冷式罗茨真空泵在泵体侧面适当位置设计有回流口,将冷却的气体导入泵腔内以冷却转子,使转子温度保持在规定的范围内,因此ZJQ系列气冷式罗茨真空泵可承受更高的压差(可达90kPa)而不会发生过热。

  气冷式罗茨真空泵工作原理

  图(a)~图(f)为ZJQ气冷式罗茨真空泵工作过程:

  如图(a),在旋转过程中,泵上方的空腔逐渐变大,气体被吸入;当转至图(b)时,右转子从泵入口封入V0体积的气体;当转至图(c)时,右侧V0腔与回流管路接通,此时因排气侧压力要高于V0腔,因此排气口气体被换热器冷却后返流至V0腔;当转至图(d)时,左转子封入V0体积的气体;当转至图(e)及图(f)时,左侧的V0腔与回流管路接通,冷却后的气体返流至左侧的V0腔;当继续转至图(a)时,右侧的返流腔与排气口相通;继续转至图(c)时,最初右转子封入的气体连同返流的气体一起排出泵外。转子主轴旋转一周共排出6个V0体积的气体。

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