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浅谈干式真空机组的形式
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浅谈干式真空机组的形式

  • 分类:行业新闻
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  • 来源:
  • 发布时间:2021-12-02 14:14
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【概要描述】事实上,更早的一些干式真空机组的设计理念是叠加罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂,每个阶段需要更多氮的氮具有稀释和隔离作用。同时,为了达到良好的真空度,对各级的间隔有非常严格的要求。当然,由于内部压缩比的增加,该设计的功耗相对较低。

浅谈干式真空机组的形式

【概要描述】事实上,更早的一些干式真空机组的设计理念是叠加罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂,每个阶段需要更多氮的氮具有稀释和隔离作用。同时,为了达到良好的真空度,对各级的间隔有非常严格的要求。当然,由于内部压缩比的增加,该设计的功耗相对较低。

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  干式真空机组主要有以下形式,下面我们来分析一下。

  1. 双元叶式干式真空机组

  双元叶式设计与目前更流行、更广泛使用的罗茨泵非常相似。事实上,更早的一些干式真空机组的设计理念是叠加罗茨泵。这种多级设计使气体通道相当复杂,每个阶段需要更多氮的氮具有稀释和隔离作用。同时,为了达到良好的真空度,对各级的间隔有非常严格的要求。当然,由于内部压缩比的增加,该设计的功耗相对较低。

  2. 三叶原叶干式真空机组

  “三叶原叶设计”和“双叶设计”的原理是一样的。但是,不是在圆上转一圈,把气体分成两个,而是分成三个部分。这两种设计有相同的优点和缺点。为了进一步降低功耗,有些干式真空机组制造商在电动部分使用两个直流电动机,但这减少了扭矩,降低了重新启动的能力。与双层圆形裂纹设计一样,三叶圆形裂纹设计的每一层都需要更多的氮,以起到稀释和隔离的作用。


干式真空机组


  3. 组合干式真空机组

  组合设计使用Rotz提高低压力下的进气效率,使用爪子提高高压力下的进气效率。它的基本原理和机身通道与前面介绍的圆形裂缝式设计完全相同。另外,一些干式真空机组制造商将最后一个等级更改为组合设计,使气体转一圈,可以分为5个。就像三元裂缝式设计可以把它分为三个部分一样。同样,在许多工程中,组合式设计的各个层面都需要更多的氮,以起到稀释和隔离的作用。

  4. 外部压缩螺钉

  外部压缩螺钉设计使用一对等距螺钉。这使得干式真空机组内部压缩降至最低,气体通道最短,简单。这样,气体在泵中停留的时间也最短。这种设计由于内部压缩比的减少,耗电量相对较高,但在复杂的半导体工艺中稳定性非常高。这种单阶段设计对氮用量的要求也变得非常小和简单,在多个工艺中具有很好的互换性。在很多清洁工艺中,不用氮。

  5. 内部压缩螺钉

  除了使用一对非等距离螺钉外,内部压缩型螺钉设计和外部压缩型螺钉设计的基本原理非常相似。由于螺钉之间的容积减少,内部被压缩。由于内部压缩,该设计将功耗降低到了与多级泵相似的水平。但是,在许多工序中,这种内部压缩与多级泵一样,由于干式真空机组体内气体的物理化学变化,容易发生固化或液化。

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