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干式真空泵的原理是什么?
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干式真空泵的原理是什么?

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  • 发布时间:2022-11-03 09:15
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【概要描述】干式真空泵主要用于半导体工业、化工和薄膜工业。国外干泵市场正处于蓬勃发展阶段。例如,在日本,半导体行业都使用干式真空泵来取代油封机械泵,而欧美半导体行业有超过45%的企业使用干式真空泵来取代油封机械泵,大大提高了产品的性能和质量。

干式真空泵的原理是什么?

【概要描述】干式真空泵主要用于半导体工业、化工和薄膜工业。国外干泵市场正处于蓬勃发展阶段。例如,在日本,半导体行业都使用干式真空泵来取代油封机械泵,而欧美半导体行业有超过45%的企业使用干式真空泵来取代油封机械泵,大大提高了产品的性能和质量。

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干式真空泵主要用于半导体工业、化工和薄膜工业。国外干泵市场正处于蓬勃发展阶段。例如,在日本,半导体行业都使用干式真空泵来取代油封机械泵,而欧美半导体行业有超过45%的企业使用干式真空泵来取代油封机械泵,大大提高了产品的性能和质量。

为了满足不同应用领域和不同工作条件的要求,国外有螺杆真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪形真空泵、往复活塞真空泵、涡旋真空泵和涡轮无油真空泵。干式泵的极限压力为10Pa至10-2Pa,泵速为20m3/h至500m3/h。

1、干式真空泵简介及原理

这是一台立式双螺杆干式真空泵。其吸入和排气原理与大多数相同。它是一种抽气装置,使用一对螺钉在泵壳中进行同步高速反向旋转,以产生吸入和排气效果。

干式真空泵工作时,它们之间没有摩擦,运行稳定,噪音低,工作腔不需要润滑油。因此,干式螺杆泵可以泵出大量蒸汽和少量灰尘。由于螺杆采用变螺距结构,与等螺距结构相比,极限真空度更高,功耗更低,具有节能、免维护等优点。是油封真空泵的更新换代产品。

两年的备件是标准O形圈。自上而下的输送方式可以可靠地处理含液体的水分和灰尘,无需过滤器。优化的螺杆形状设计将功耗降至很低。简单的设计使泵室能够在1小时内现场完全拆卸,易于清洁和维护。

2、独特的冷却方式

许多泵转子卡住的原因是,由于吸入含有灰尘和晶体的物质、在高温下聚合的物质以及热敏性物质的升华,转子之间的间隙被堵塞。另一个原因是,由于长期运行,转子会因热膨胀和冷收缩而变形,导致泵卡住。

干式真空泵冷却方式:

目前,市场上大多数干式泵使用水套冷却水冷却转子。一些立式螺杆真空泵的冷却系统更为独特。例如,泵中增加了螺杆的内部冷却剂冷却和直接气体冷却,可以很好地保持内表面的温度,而不会过高或过低。它始终保持在适当的温度,以防止泵送的热敏物质和在高温下容易聚合的物质分解。

3、如何清 除易燃、易爆、腐蚀性介质?

众所周知,腐蚀是由溶液中的酸性和碱性离子与金属之间的反应引起的。温度越高,腐蚀速度越快。一般真空泵使用一些防腐材料或在转子上涂一些防腐涂层来延缓腐蚀速度。

然而,由于干式真空泵在运行过程中内部的热条件恶劣,无油干式真空泵不适合使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀介质。

此外,使用铁素体金属高镍涂层材料,一旦出现轻微裂纹,就会导致材料的快速电化学腐蚀。只要专门设计用于可靠控制温度的设备将腐蚀介质保持在气相状态且不存在离子形式,是否就没有腐蚀?答 案是肯定的。该泵使用其自己的先进冷却系统,可以调节泵腔和转子的温度,使其不存在离子形式,并将其全部蒸发,以避免腐蚀。因此,该螺杆干式真空泵的转子由不锈钢制成,没有任何涂层,从而降低了成本,提高了安全性能。

评价爆炸的指标有两个:可燃物质的闪点和燃点。由于螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体中没有摩擦,因此不会产生电火花和火源。此外,它通过自身的冷却系统降低泵内的温度,使泵送材料难以达到燃点,从而防止爆炸。



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