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使用干式真空泵的注意事项?


发布时间:

2023-02-01

干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。在使用的时候它增强了泵的可靠性。下面为大家介绍下使用干式真空泵的注意事项?希望能为一些相关人士带来帮助。

 干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。在使用的时候它增强了泵的可靠性。下面为大家介绍下使用干式真空泵的注意事项?希望能为一些相关人士带来帮助。

干式真空泵设计每一种都有自己的特点和优缺点。长期以来,其使用成本一直是影响人们选择的重要因素。越来越多的干式真空泵用户意识到真空泵运行的稳定性也应该被考虑在内。当然主要是因为真空泵的意外故障会降低机器的使用效率,影响晶圆的生产和交货时间,甚至会导致加工后的晶圆报废,损坏机器的其他部件。使用时需要知道的是,现在主要是由于螺杆式的单级设计,与叶轮式、爪式、组合式等多级泵相比,使用的零件数量减少了60%。这使其在稳定性和未来维护成本方面成为一大优势。现在干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、泵室部件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,越来越受到生产和应用单位的重视。

大家在使用干式真空泵的时候,每次开机前都要注意检查设备和管路的连接情况。行车前,确认进、排气管内无异物,并先打开排气管阀门,以免失压。或启动后,打开进气管阀门,防止异物进入腔体堵塞。监视量油尺以验证是否有足够的润滑油。当然如果没有粘性物质或灰尘,则定期清洁其过滤网和泵腔。建议每次在关闭泵之前进行清洁。间歇工况停车后,若启动不顺畅,打开发动机盖,转动发动机轴5-10转或汽蒸10分钟。当干式真空泵送冷凝气体或环境湿度过高时,引入足够量的干燥空气,并且在关闭泵之前清空泵腔。还应注意的是,长时间停泵时,关闭吸气阀,运行真空泵20分钟,然后停泵,以防止水蒸气进入。还要保证运行循环冷却水的水量和水温符合技术要求。如果停水,停泵;当环境温度低于零时,停干式真空泵并保证循环冷却水的流量,防止腔体结冰。或者对于可凝性气体,排气管应低于排气口,排气口朝上,连接三通并与回收罐相连。

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