大连电子行业

在电子行业,真空泵广泛应用于半导体、集成电路、显示面板、光伏、LED及真空镀膜等制造环节,如刻蚀、CVD/PVD、离子注入、封装、检漏和物料搬运,为洁净工艺提供稳定无油负压。它能防止颗粒与油污污染、保障薄膜纯度和器件良率,并需满足高洁净、耐腐蚀、低振动、低噪声及高可靠性等要求。

产品描述

在电子行业,真空泵广泛应用于半导体、集成电路、显示面板、光伏、LED及真空镀膜等制造环节,如刻蚀、CVD/PVD、离子注入、封装、检漏和物料搬运,为洁净工艺提供稳定无油负压。它能防止颗粒与油污污染、保障薄膜纯度和器件良率,并需满足高洁净、耐腐蚀、低振动、低噪声及高可靠性等要求。