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类别:
大连行业应用
销售电话:0533-4403088
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产品描述
在电子行业,真空泵广泛应用于半导体、集成电路、显示面板、光伏、LED及真空镀膜等制造环节,如刻蚀、CVD/PVD、离子注入、封装、检漏和物料搬运,为洁净工艺提供稳定无油负压。它能防止颗粒与油污污染、保障薄膜纯度和器件良率,并需满足高洁净、耐腐蚀、低振动、低噪声及高可靠性等要求。
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